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PS2H30-005U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置XY或XYZ运动并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。
体积小，外形尺寸仅有70x70x28mm，具有更高的位移行程，其高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和稳定性能的计量应用。参数可根据客户要求定制。
压电平移台是以压电陶瓷为驱动，以柔性铰链为导向，通过压电陶瓷的形变精确控制平台的移动。该平台可提供X、XY及XYZ等不同维度平台。采用高精度位移传感器闭环反馈，使平台拥有毫秒级响应速度，亚纳米级的分辨率，并且拥有低底噪。被广泛应用于，超分辨显微、光镊系统、原子力显微镜、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、ccd 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。
产品特性
—高速1ms响应，多轴定位
—最短的响应时间
—亚纳米范围内的高分辨率
—高度紧凑的设计带来卓越的性能
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XYZ版本
应用领域
—光学镜面移动对准
—纳米定位，计量学
—生物学研究
—微电子学，显微操作
结构原理 位移特性 典型应用
